Овај инструмент усваја бесконтактни интерферометријски метод мерења са оптичким померањем фазе, не оштећује површину радног предмета током мерења, може брзо да измери тродимензионалну графику микротопографије површине различитих обрадака и анализира и израчуна мерење резултате.
Опис производа
Карактеристике: Погодно за мерење храпавости површине различитих блокова мерача и оптичких делова; дубина конца лењира и бројчаника; дебљина превлаке структуре жљебова решетке и морфологија структуре границе премаза; површина магнетног (оптичког) диска и магнетна глава Мерење структуре; храпавост површине силицијумске плочице и мерење структуре узорка итд.
Због високе тачности мерења инструмента има карактеристике бесконтактног и тродимензионалног мерења, усваја компјутерску контролу и брзу анализу и прорачун резултата мерења. Овај инструмент је погодан за све нивое испитних и мерних истраживачких јединица, мерних просторија индустријских и рударских предузећа, радионица за прецизну обраду, а такође је погодан за институције високог образовања и научно-истраживачке институције итд.
Главни технички параметри
Мерни опсег дубине микроскопске неравнине површине
На непрекидној површини, када нема нагле промене висине веће од 1/4 таласне дужине између два суседна пиксела: 1000-1нм
Када постоји мутација висине већа од 1/4 таласне дужине између два суседна пиксела: 130-1нм
Поновљивост мерења: δРа ≤0.5нм
Увећање објектива: 40Кс
Нумерички отвор бленде: Φ 65
Радно растојање: 0,5 мм
Видно поље инструмента Визуелно: Φ0,25 мм
Фотографија: 0,13×0,13 мм
Увећање инструмента Визуелно: 500×
Фотографија (посматрано екраном компјутера)-2500×
Мерни низ пријемника: 1000Кс1000
Величина пиксела: 5,2×5,2µм
Време мерења време узорковања (скенирања): 1С
Стандардна рефлексија огледала инструмента (висока): ~50%
Рефлексија (ниска): ~4%
Извор осветљења: лампа са жарном нити 6В 5В
Таласна дужина филтера за зелене интерференције: λ≒530нм
Пола ширине λ≒10нм
Подизање главног микроскопа: 110 мм
Подизање стола: 5 мм
Опсег кретања у правцу Кс и И: ~10 мм
Опсег ротације радног стола: 360°
Опсег нагиба радног стола: ±6°
Рачунарски систем: П4, 2.8Г или више, 17-инчни екран са равним екраном са 1Г или више меморије